KOFLOC マスフローコントローラー/精密流量計測制御器 MODEL3200② [58963139]

Name: KOFLOC マスフローコントローラー/精密流量計測制御器 MODEL3200②
SKU: 58963139
Price: 22490 JPY
Availability: InStock
Rating: 4.2 (35 reviews)

販売価格: 22,490円(税込)

在庫数 13枚

商品詳細

商品ホームページから抜粋いたします。

MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。

特長
・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現
・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用
・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減
・F.S. 1SCCM の微少流量対応（SR オプション）
流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)
対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください
・燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション）
取り外すまで動いていたようです。同じものが３台あります。